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    > 基于抗過載結構的防異物防破損壓力傳感器

    基于抗過載結構的防異物防破損壓力傳感器

    813   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:01:09
    本實用新型提供一種基于抗過載結構的防異物防破損壓力傳感器，它包括敏感膜以及位于所述敏感膜上的應變電阻和電極，所述電極連接所述應變電阻的輸出端，以傳輸檢測信號，還包括位于所述敏感膜下方的硅襯底，以及位于所述敏感膜上方的保護蓋；所述硅襯底開設凹槽，所述凹槽底部設置有第一防粘連結構；所述保護蓋均勻開設若干第一進氣孔，用于防止所述敏感膜局部形變異常。本實用新型通過增設第一防粘連結構和第二防粘連結構，形成雙臂防粘連結構，有效防止壓力傳感器敏感膜因超高過載導致的損壞、破裂、過度形變等失效；所述保護蓋均勻布設的第一進氣孔能夠調節氣流走向，使之均勻進入檢測腔體內，保證敏感膜的形變均勻性和受力平衡。
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