本實用新型提供一種基于抗過載結構的防異物防破損壓力傳感器,它包括敏感膜以及位于所述敏感膜上的應變電阻和電極,所述電極連接所述應變電阻的輸出端,以傳輸檢測信號,還包括位于所述敏感膜下方的硅襯底,以及位于所述敏感膜上方的保護蓋;所述硅襯底開設凹槽,所述凹槽底部設置有第一防粘連結構;所述保護蓋均勻開設若干第一進氣孔,用于防止所述敏感膜局部形變異常。本實用新型通過增設第一防粘連結構和第二防粘連結構,形成雙臂防粘連結構,有效防止壓力傳感器敏感膜因超高過載導致的損壞、破裂、過度形變等失效;所述保護蓋均勻布設的第一進氣孔能夠調節氣流走向,使之均勻進入檢測腔體內,保證敏感膜的形變均勻性和受力平衡。
聲明:
“基于抗過載結構的防異物防破損壓力傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)