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    研磨方法

    1114   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:01:10
    一種在化學機械研磨中監測界面的方法,包括如下步驟:提供一晶圓,所示晶圓表面具有襯墊層以及設置于襯墊層表面的待研磨層;對待研磨層實施化學機械研磨,并在實施化學機械研磨的工藝過程中監測研磨面的反射率信息,繪制反射率與研磨時間的曲線;每隔固定的時間計算并記錄該曲線終點處的斜率;根據記錄的斜率值確定是否停止實施化學機械研磨。本發明的優點在于,采用檢測斜率值的變化的手段代替現有技術中采用反射率曲線作為判斷標準的方法來判斷研磨的實施情況,并適時停止于界面或者其他指定的位置,避免出現監控失效。
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