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    用于制備硅片樣品的切割裝置

    929   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:01:24
    本實用新型公開了一種用于制備硅片樣品的切割裝置,包括樣品臺、軌道支撐座、刀片軌道、刀具,樣品臺上設置有刀片軌道,刀片軌道的兩端分別連接軌道支撐座;軌道支撐座活動設置于樣品臺上;刀具活動設置于刀片軌道內;所述樣品臺設置有多個通孔,通孔連接真空泵。本實用新型能夠精確定位,實現多角度、多方位地切割、截取樣品,切割位置精確。本實用新型能夠解決手工裂片位置選擇差,制樣單一,成功率低的問題,并且降低了使用定點切割機的費用,節省了研磨需耗費的時間,提高失效分析的工作效率。
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    “用于制備硅片樣品的切割裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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