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    柔性多維力覺壓力傳感器

    944   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-19 09:01:41
    本發明公開了一種柔性多維力覺壓力傳感器,包括柔性襯底;置于柔性襯底上的電極;電極之間的電介質層、分隔層、電極引線、流體通道、溢流水庫以及封裝層。柔性襯底包括上層柔性襯底和下層柔性襯底,電極分為上下電極和內外側電極,在上層柔性襯底上涂敷上層電極和內側電極,在下層柔性襯底上涂敷下層電極和外側電極,內側電極和上層電極采用柔性分隔層封裝,以防止上下層電極或內外側電極直接接觸而使傳感器失效。電極層中粘附有延伸到電極層外部的引線,相鄰傳感器單元間設有流體通道來連接溢流水庫,整個傳感器最后采用封裝層封裝。本發明提出的柔性多維力覺壓力傳感器陣列具有靈敏度高,重復性好,用途廣泛等優點,可以實現對載荷的大小及方向檢測。
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