本發明提供了一種制作透射電鏡樣品的方法,其中,提供一待觀測硅片,待觀測硅片中包括一失效點,包括以下步驟:對待觀測硅片中的失效點進行標記以形成標記區域;切割待觀測硅片以獲取包含標記區域的六面體;提供一單晶硅制成的載體硅片,切割載體硅片的上表面,以獲取一凹槽;通過液體膠將六面體與標記區域相鄰的側面粘貼于凹槽內,并使六面體平行于凹槽的邊緣;通過粘貼有六面體的載體硅片及六面體進行切割,以獲得透射電鏡樣品。其技術方案的有益效果在于,實現提升制作透射電鏡樣品精度,提高透射電鏡樣品制作效率,解決了有技術中制作透射電鏡樣品易出現失效點打磨過度造成透射電鏡樣品制作失敗的問題。
聲明:
“制作透射電鏡樣品的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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