• <tr id="qwu6y"></tr>
  • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>
  • 合肥金星智控科技股份有限公司
    宣傳

    位置:中冶有色 >

    有色技術頻道 >

    > 失效分析技術

    > 氮化硅-聚酰亞胺復合介質的MIM電容器及制作方法

    氮化硅-聚酰亞胺復合介質的MIM電容器及制作方法

    909   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-19 09:02:32
    本發明公開了一種氮化硅?聚酰亞胺復合介質的MIM電容器及其制作方法,通過在電容器的上、下極板之間設置氮化硅?聚酰亞胺復合介質結構,采用第一氮化硅層定義電容器面積,第二氮化硅層定義電容器上下極板間距,同時采用聚酰亞胺填覆凹槽,一方面提高了抵御水汽侵蝕能力,解決了電容器在溫濕度偏壓(THB)/偏壓高加速應力測試(BHAST)等可靠性測試中失效的問題,另一方面降低了高度差導致的第二金屬跨區斷裂風險,增強了上極板導電能力和耐擊穿能力,提高了整體性能,可運用于所有HBT?MMIC上。
    登錄解鎖全文
    聲明:
    “氮化硅-聚酰亞胺復合介質的MIM電容器及制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
    分享 0
             
    舉報 0
    收藏 0
    反對 0
    點贊 0
    標簽:
    失效分析
    全國熱門有色金屬技術推薦
    展開更多 +

     

    中冶有色技術平臺

    最新更新技術

    報名參會
    更多+

    報告下載

    赤泥綜合利用研究報告2025
    推廣

    熱門技術
    更多+

    衡水宏運壓濾機有限公司
    宣傳
    環磨科技控股(集團)有限公司
    宣傳

    發布

    在線客服

    公眾號

    電話

    頂部
    咨詢電話:
    010-88793500-807
    專利人/作者信息登記
    久爱国产精品一区免费视频_无码国模国产在线观看_久久久久精品国产亚洲A_国产综合精品无码
  • <tr id="qwu6y"></tr>
  • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>