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    > 基于缺陷概率的過程窗口

    基于缺陷概率的過程窗口

    1186   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:02:32
    本文中描述一種方法。所述方法包括：獲得(i)所述特征的參數的測量結果、(ii)與圖案化過程的過程變量相關的數據、(iii)基于所述參數的所述測量結果和與所述過程變量相關的所述數據而被定義為所述過程變量的函數的所述參數的函數行為、(iv)所述特征的失效率的測量結果，以及(v)針對所述過程變量的設定的所述過程變量的概率密度函數；基于轉換函數將所述過程變量的所述概率密度函數轉換成所述參數的概率密度函數，其中基于所述過程變量的所述函數來確定所述轉換函數；以及基于所述參數的所述概率密度函數、以及所述失效率的所述測量結果，來確定所述參數的參數極限。
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    “基于缺陷概率的過程窗口” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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