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    過濾制程數據的方法及其系統

    1174   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:02:33
    本發明揭露一種過濾制程數據的方法及其系統,用以過濾送到一統計控制模型的制程數據,以提升該控制模型的性能。該數據過濾器從一組制程數據中選取一組樣版數據、形成包括該組樣版數據以及一組采樣數據的一組網格、并計算出該組網格中的一網格的每一點間的一絕對距離以及使用該絕對距離計算出該網格的一點的一最小累加距離。依據該點的該最小累加距離,定義出一整體最佳路徑、以及依據該整體最佳路徑以及一組參考數據,重新對應該組采樣數據以形成一組改變后數據。本發明可將制程數據變成與測量點的一組一致,進而提升制程效能。軟件觸發器失效問題也可通過消除其他晶圓包含的數據,從異常的晶圓制程中排除。
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    聲明：
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