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    > 高分辨率微顯示器缺陷修復方法

    高分辨率微顯示器缺陷修復方法

    1136   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:02:35
    本發明公開了一種高分辨率微顯示器缺陷修復方法，所述方法具體包括如下步驟：S1、定義亮點的亮度閾值，定位微顯示器中的亮點坐標；S2、將亮點坐標導入聚焦粒子束設備，聚焦粒子束設備對亮點坐標對應的像素進行缺陷修復。本發明通過使用自動點屏和光學測試設備自動定位缺陷坐標，FIB設備根據缺陷坐標自動定位，FIB直接沉積遮擋層或者先切割再沉積保護層，從而實現缺陷的自動定位和自動修補，解決了激光修補精度差，不能修補微顯的問題，同時避免了激光修補熱效應導致的鄰近像素失效和封裝失效的問題。
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