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    管路控溫設備和管路控溫方法

    1165   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:02:36
    本申請公開一種管路控溫設備和管路控溫方法，用于半導體設備中，管路控溫設備包括處理器件和多個沿被控溫管路的延伸方向分布的加熱組件，各加熱組件均包括加熱器件、第一測溫器件、第二測溫器件和控制器件，各加熱組件中的第一測溫器件和第二測溫器件均用于測量被控溫管路的實時溫度，且均與加熱組件中的控制器件連接；多個控制器件均與處理器件連接，處理器件能夠基于各加熱組件中的第一測溫器件或第二測溫器件的測量值，通過多個控制器件分別控制多個加熱器件工作，直至多個被加熱部分分別滿足各自的目標溫度。上述技術方案能夠解決目前控溫熱偶失效會造成工藝過程終止，晶圓報廢，對工藝過程連續性產生極大的不利影響的問題。
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    聲明：
    “管路控溫設備和管路控溫方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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