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    半導體器件幾何方法和系統

    980   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:05:32
    描述了用于預測與圖案化過程相關聯的襯底幾何形狀的系統和方法。接收包括圖案的幾何形狀信息和/或過程信息的輸入信息；以及使用機器學習預測模型來預測多維輸出襯底的幾何形狀。所述多維輸出信息包括圖案概率圖像?；谒鰣D案概率圖像，可以預測隨機邊緣放置誤差帶和/或隨機失效率。所述輸入信息包括模擬空間圖像、模擬抗蝕劑圖像、目標襯底尺寸、和/或來自掃描器的與半導體器件制造相關聯的數據。例如，不同的空間圖像可以對應于與所述圖案化過程相關聯的抗蝕劑層的不同高度。
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