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    功率器件超薄晶圓先進封裝工藝

    1025   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:20:07
    本發明提供了一種功率器件超薄晶圓先進封裝工藝，將所述功率器件超薄晶圓的背面貼膜，形成粘貼層；在粘貼層的位置貼敷引線框架；在引線框架之間，以及引線框架與所述功率器件超薄晶圓之間進行塑封，形成塑封層；在所述導電柱和所述引線框架的表面進行電鍍形成電鍍層；將封裝好的功率器件超薄晶圓依次進行切筋、測試、包裝；本發明晶圓封裝過程簡單，穩定性好，因為在引線框架和引線框架之間，以及引線框架與所述功率器件超薄晶圓之間進行塑封，所以不易發生封裝結構的變形，從而更好的保護封裝結構，防止失效。
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    “功率器件超薄晶圓先進封裝工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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