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    電子輻照下SiC MOSFET閾值電壓恢復方法及裝置

    964   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:37:11
    本發明提供了電子輻照下SiC MOSFET閾值電壓恢復方法及裝置，屬于SiC MOSFET的閾值電壓恢復領域，方法包括：將待恢復的SiC MOSFET裸芯片固定，且將待恢復的SiC MOSFET裸芯片的各電極引出；對待恢復的SiCMOSFET裸芯片進行若干次連續電子輻照；電子輻照后，測量待恢復的SiCMOSFET閾值電壓，當實際閾值電壓與健康閾值電壓相比較，若兩者相等，則停止對待恢復的SiC MOSFET裸芯片的電子輻照；否則，繼續對待恢復的SiC MOSFET裸芯片進行電子輻照；本發明實現了失效SiC MOSFET的回收再利用。
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