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    離子注入機穩定性的監控方法

    1566   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:37:12
    本發明公開了一種離子注入機穩定性的監控方法，包括以下步驟：S1、先取光硅片，并生長氧化層；S2、對生長氧化層的光硅片進行離子注入，且將離子注入的濃度峰值注入在硅和氧化層的交界面；S3、進行快速熱處理，激活雜質，形成導電層；S4、去除氧化層；S5、對去除氧化層的導電層進行電阻值的測試，確認電阻穩定性；S6、對導電層進行多次定頻監控；本發明改變現有的注入機臺監控方式，對注入機能量和劑量的穩定性監控都能起到很好的作用，大大降低因機臺的波動而造成批量產品的失效報廢的機率，具有良好的市場應用價值。
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