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    MEMS芯片組件

    1067   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:37:13
    本實用新型提供了一種MEMS芯片組件，MEMS芯片組件包括基板及安裝于所述基板上的MEMS芯片，所述MEMS芯片包括具有腔體的基底以及設置于所述基體上的感測部，所述MEMS芯片通過膠水貼設于所述基板，所述基底包括圍設成所述腔體的內壁，所述基底還包括自所述內壁向所述腔體內部延伸的膠水阻擋層。本實用新型可以有效防止貼片膠水上溢至MEMS芯片頂部，避免了膠水污染振膜造成的麥克風性能失效。不僅如此，膠水阻擋層可以增大膠水與MEMS芯片底部的結合面積，使MEMS芯片與基板的連接更加牢固，增強了麥克風器件抵抗跌落和振動的能力，提升了可靠性。
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    聲明：
    “MEMS芯片組件” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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