一種高效太陽能電池用大產能爐管式icp-cvd裝置
技術領域
1.本發明涉及太陽能電池生產設備，尤其涉及一種高效太陽能電池用大產能爐管式icp-cvd裝置。
背景技術：
2.目前高效太陽能電池主要膜系材料為單質硅，晶體結構為非晶或微晶狀態。而且希望的是更多的微晶狀態的單質硅材料。目前主要的生長方式是采用平行平板式pecvd設備(ccp-cvd)，在一定真空度和溫度下，使用硅烷氣體分解得到，此方式由于產生的等離子體密度低，生成的單質硅薄膜主要是非晶狀態且氫含量偏高。較好的方法是采用高密度等離子體放電技術比如電感耦合等離子體、微波等離子體放電等技術。電感耦合等離子體由于具有輻射小、結構簡單、電磁兼容性好等特點被廣泛應用于半導體cvd設備中。但目前電感耦合pecvd設備(icp-cvd)產能很小，主要應用于半導體芯片制造，滿足不了太陽能電池行業需要大產能、低成本的要求。
3.現有技術的缺點：
4.1、對于鏈式平行平板pecvd設備：
5.(1)平面載板，提高產能的辦法是采用大的載板，大載板將會使設備體積增大、占地面積增大，成本增高；(2)對于大產能設備，由于載板面積變大，帶來放電均勻性、氣流均勻性等難控制的問題。
6.2、對于管式平行平板pecvd設備：
7.(1)電極放在爐管中，電極板也是工件載板，還是平行極板之間放電。由于電極板間距不能太小，采用多層電極板的方式擴大產能，將會使爐管直徑增大，而爐管壁強度有限不能太大，產能也會受限；(2)兩個電極板都在真空腔體中，電極的引入存在漏電風險；(3)氣流不能均勻噴在每對電極板之間，存在膜層不均勻的風險，導致影響產品成品率。
8.3、對于電感耦合pecvd設備：等離子體在基片上方的腔體內由電感放電產生，沉膜區域受到限制，導致不能實現大產能沉膜。
技術實現要素：
9.本發明要解決的技術問題是克服現有技術的不足，提供一種電感線圈設在反應腔體外部，等離子體放電與載板無關，載板結構和布局不再受限制，加熱爐管與反應腔體、線圈組成的部件可采用上下多層布置，放在一個機架內，占地面積小，單位面積內的產能大，反應腔體內不需要設置電極從而不會出現電極引入處放電問題，鍍膜均勻性好的高效太陽能電池用大產能爐管式icp-cvd裝置。
10.為解決上述技術問題，本發明采用以下技術方案：
11.一種高效太陽能電池用大產能爐管式ic
聲明：
“高效太陽能電池用大產能爐管式ICP-CVD裝置的制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：湖南紅太陽光電科技有限公司
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2025年07月09日 ~ 11日 
