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    傾斜旋轉式管式爐設備

    傾斜旋轉式管式爐設備

    418
    規格/型號：PE-1600-60
    品牌：科恩泰科
    應用領域：冶金
    產地：河南 - 鄭州
    廠家/供應商：鄭州科恩泰科儀器有限公司
    咨詢電話:：13676946968（請說明信息源自“中冶有色網”）
    更新時間：2025-02-02
    級別：待認證

    傾斜旋轉式管式爐設備說明介紹

    傾斜旋轉式管式爐設備

    傾斜旋轉式管式爐設備


    傾斜旋轉式等離子體增強化學沉積（PECVD）管式爐設備

    貨號 : KT-PE16

    最高溫度

    1600 ℃

    恒定工作溫度

    1550 ℃

    爐管直徑

    60 毫米

    加熱區長度

    2x300 毫米

    加熱速率

    0-10 ℃/min

    應用

    KT-PE16 傾斜旋轉式 PECVD 爐 PECVD 爐由一個 500W 射頻等離子源、一個雙區 TF-1200 管式爐、4 個 MFC 氣體精確控制單元和一個標準真空站組成。爐子的最高工作溫度可達 1600℃。工作溫度高達 1600℃，爐管為直徑 60mm 的 Al2O2 陶瓷管；4 通道 MFC 質量流量計，氣源為 CH4、H2、O2 和 N2；真空站為 1 臺 4L/S 旋片真空泵，最大真空壓力為 10Pa。真空壓力可達 10Pa。

    優點

    射頻等離子體自動匹配源，5-500W 寬輸出功率范圍，輸出穩定

    高速加熱和短時間冷卻的爐腔滑動系統，可輔助快速冷卻和自動滑動運動

    PID 可編程溫度控制，控制精度高，支持遠程控制和集中控制

    高精度 MFC 質量流量計控制，源氣預混，供氣速度穩定

    不銹鋼真空法蘭，多種適配接口，滿足不同真空泵站設置，密封性好，真空度高

    CTF Pro 采用一個 7 英寸 TFT 觸摸屏控制器，程序設置和歷史數據分析更友好

    安全優勢

    Kindle Tech 管式爐具有過流保護和過溫報警功能，爐子會自動關閉電源

    爐子內置熱耦合檢測功能，一旦檢測到破損或故障，爐子將停止加熱并報警

    PE Pro 支持斷電重啟功能，故障后接通電源時，爐子將恢復加熱程序

    技術規格

    KT-PE16 傾斜旋轉式 PECVD 爐
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    鄭州科恩泰科儀器有限公司
    企業認證：
      
    所屬領域：
    冶金
    企業性質：
    -
    經營范圍：
    -
    聯系電話：
    13676946968
    詳細地址：
    -

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