立式化學氣相沉積爐(沉積炭)
品牌:頂立科技
產地:湖南
型號:立式化學氣相沉積爐(沉積炭)
核心參數
非金屬電熱元件:其他
金屬電熱元件:其他
燒結氣氛:其他
立式化學氣相沉積爐(沉積炭)技術特征
電阻爐可采用多溫區獨立控溫,溫度均勻性好;
采用智能壓力調控,壓力波動??;
全封閉沉積室,密封效果好,抗污染能力強;
多通道工藝氣路,流程均勻,無沉積死角,沉積效果好;
多級高效尾氣處理系統,環境友好,能高效收集焦油及副產物,易清理;
可選配外循環快冷系統,降溫時間短,生產效率高;
立式化學氣相沉積爐(沉積炭)產品規格
立式化學氣相沉積爐(沉積炭)配置選擇
結構形式:臥式-單開門/雙開門;立式-上出料/下出料
爐門鎖緊方式:手動/自動
爐殼材質:全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼
加熱器、馬弗:石墨/CFC/金屬
熱電偶:K/N/C/S分度號
電源:KGPS/IGBT(僅適用于中頻加熱)