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    高真空多功能真空鍍膜機

    高真空多功能真空鍍膜機

    243
    規格/型號：暫無
    品牌：科誠
    應用領域：冶金
    產地：遼寧 - 沈陽
    廠家/供應商：沈陽科誠真空技術有限公司
    咨詢電話:：13998121527（請說明信息源自“中冶有色網”）
    更新時間：2025-03-28
    級別：待認證

    高真空多功能真空鍍膜機說明介紹

    高真空多功能真空鍍膜機

    高真空多功能真空鍍膜機是一種集成了多種鍍膜技術(如熱蒸發、電子束蒸發、磁控濺射、離子鍍等)的先進設備，能夠在高真空環境下實現不同類型的薄膜沉積，滿足科研與工業中對復雜薄膜的需求。

    設備的主要配置：

    1、真空室二個，一個有8個蒸發源(有機材料)，另一個有4個蒸發源(金屬材料)。

    2、四個源的真空室(金屬材料)附加一個手套箱，這種附加方法不但可使蒸發好的基片在此取出、而且還可使蒸發材料在保護氣體的環境下放入蒸發源。

    3、樣品在兩個真空室之間進行傳遞，傳遞方式為軌道及軌道車電控傳遞。

    4、每次可對四塊樣品進行蒸鍍，并可在線掩膜兩次(20mm×30mm)。

    5、對樣品采用典鎢燈加熱，自動控溫。(最高200℃、精度±1℃)

    6、金屬蒸發源采用鎢絞絲。

    7、由于蒸發源比較多，又不能給每個蒸發源都配上電源，所以給每個真空室的蒸發源都加裝電源轉換裝置一套，電控轉換操作方便。

    8、樣品臺二套(可電控升降、旋轉及定位交接和掩膜換位)。

    9、有機室上蓋開啟系統一套(電動控制)。

    10、PLC微機控制系統一套。

    11、樣品由有機蒸發室傳遞到金屬蒸發室、至手套箱采用軌道式自動交接(由觸摸屏控制)。

    12、恢復工作真空時間短，從大氣到工作真空(7×10-4Pa)時間30～40分鐘(暴露大氣前充干燥氮氣)。

    13、超高真空密封主要采用如下技術：玻璃金屬焊接技術、陶瓷金屬焊接技術、刀口無氧銅金屬密封技術等，整機主要采用金屬密封技術，前開門用氟膠圈，真空管路用不銹鋼金屬波紋管路(不用橡膠管路)，采用超高真空閥門。

    14. 運動部件的密封，采用磁力耦合及金屬波紋管密封技術。

    15. 真空規用金屬規，密封口用刀口金屬密封結構。

    設備工作技術指標：

    1、設備極限真空度6×10-5Pa，工作真空度5×10-4Pa。

    2、設備整體漏率：關機停泵12小時后，真空度≤10pa

    3、 樣品臺加熱溫度室溫至200度，可調，控溫溫度±1度

    4、 冷卻水循環量150L/h。

    5、 電源：交流三相五線制380V，總功率20KVA。

    6、 環境溫度10℃～30℃。
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    真空鍍膜機 鍍膜機
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    沈陽科誠真空技術有限公司
    企業認證：
      
    所屬領域：
    冶金
    企業性質：
    -
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    -
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    13998121527
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