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    真空熱蒸發鍍膜系統

    真空熱蒸發鍍膜系統

    241
    規格/型號:暫無
    品牌:科誠
    應用領域:冶金
    產地:遼寧 - 沈陽
    廠家/供應商:沈陽科誠真空技術有限公司
    咨詢電話::13998121527(請說明信息源自“中冶有色網”)
    更新時間:2025-03-28
    級別:待認證

    真空熱蒸發鍍膜系統說明介紹

    真空熱蒸發鍍膜系統

    真空熱蒸發鍍膜系統是一種常見的物理氣相沉積(PVD)技術,通過加熱蒸發材料使其在真空環境中氣化,隨后凝結在基片表面形成薄膜。

    蒸發源共14套,其中10套為溫控有機蒸發源,4套為金屬電流控制蒸發源。采用全封閉結構徹底杜絕了交叉污染,為本公司專利產品。

    樣品臺具有旋轉、升降、加熱(最高200℃)功能,可在線更換掩膜板一次,掩模板與樣品無間隙貼合,可同時裝載25mm×25mm樣品四塊(此技術為本公司專利),每個樣品還有獨立的擋板,通過機械手在線控制擋板的開關。

    1、供電:~380V三相供電系統(容量10KW),冷卻水循環量0.3M3/H,工作環境溫度10℃~40℃,冷卻水溫度15℃~20℃。

    2、設備極限真空:5×10-5Pa;漏率:7×10-8Pa·L/S;工作真空:6×10-4Pa;恢復工作真空時間小于40分鐘(充干燥氮氣)。

    3、基片轉速:5~30轉/分連續可調。

    4、基片尺寸≤25.4x25.4(mm)。

    5、設備安裝面積2.Mx3M。
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    沈陽科誠真空技術有限公司
    企業認證:
      
    所屬領域:
    冶金
    企業性質:
    -
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    -
    聯系電話:
    13998121527
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