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    高真空多源熱蒸發設備

    高真空多源熱蒸發設備

    187
    規格/型號:暫無
    品牌:科誠
    應用領域:冶金
    產地:遼寧 - 沈陽
    廠家/供應商:沈陽科誠真空技術有限公司
    咨詢電話::13998121527(請說明信息源自“中冶有色網”)
    更新時間:2025-03-27
    級別:待認證

    高真空多源熱蒸發設備說明介紹

    高真空多源熱蒸發設備

    高真空多源熱蒸發設備是一種基于電阻加熱原理的物理氣相沉積(PVD)設備,通過多個獨立可控蒸發源(通常2-14個),在高真空環境(10??~10?? Pa)下實現:

    單質/合金薄膜的共蒸

    多層復合結構沉積

    梯度成分材料制備

    真空:極限真空6*10 -5 帕

    工作真空6*10 -4 帕

    恢復工作真空時間:連接手套箱≤10分鐘

    不連接手套箱,充干燥氮氣≤30分鐘

    本套設備配有8個有機源及2個金屬源

    金屬蒸發源和有機蒸發源可按客戶要求配置

    膜厚探頭及膜厚儀有國產或者進口可選

    金屬蒸發源配有1000w電源

    有機蒸發源配有可控溫電源,控溫精度±1℃
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    沈陽科誠真空技術有限公司
    企業認證:
      
    所屬領域:
    冶金
    企業性質:
    -
    經營范圍:
    -
    聯系電話:
    13998121527
    詳細地址:
    -

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