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    多功能蒸鍍設備

    多功能蒸鍍設備

    223
    規格/型號：暫無
    品牌：科誠
    應用領域：冶金
    產地：遼寧 - 沈陽
    廠家/供應商：沈陽科誠真空技術有限公司
    咨詢電話:：13998121527（請說明信息源自“中冶有色網”）
    更新時間：2025-03-27
    級別：待認證

    多功能蒸鍍設備說明介紹

    多功能蒸鍍設備

    多功能蒸鍍設備(Multi-functional Deposition System)是集成了多種PVD技術(如熱蒸發、電子束蒸發、磁控濺射等)的復合型鍍膜設備，通常具備：

    模塊化真空腔體設計

    多類型蒸發源/濺射靶兼容

    基片多自由度運動系統

    實時膜厚監測能力

    輔助離子源/加熱裝置

    技術指標：

    1. 真空室的極限真空度達5*10-5pa，漏率為關機12小時≤5pa

    2. 真空腔內配有集約樣品臺一套，配有大擋板和16套小擋板，手動控制，開關方便快捷，每個小擋板擋兩塊30*30mm樣片

    3. 蒸發源共14套，其中10套有機蒸發源，4套金屬蒸發源?？販鼐取?℃，可以實現溫度或電流補償實現蒸鍍速率穩定的功能

    4.金屬蒸發源配4臺一帶一1000W可控硅調壓電源，通過銅電極連接，兩端可夾鎢絞絲或者鉭舟，鎢絞絲可以蒸鍍絲狀或者大顆粒材料，鉭舟可以蒸鍍粉末狀材料，蒸發源采用陶瓷全密封，避免交叉污染

    5. 有機蒸發源配10臺一帶一溫控電源，有機源溫度為室溫-500度，可以根據材料及用戶需求自行調節

    6. 樣品臺具有旋轉、升降功能，可在線更換掩膜板一次，可同時裝載30mm*30mm樣品16塊。本產品每兩個樣品都配有小擋板，并且通過PLC控制步進電機對每個小擋板做16個定位，使機械手推拉小擋板，樣品與蒸發源之間的間距為200-300mm
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    多功能蒸鍍設備 電阻式熱蒸發設備
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    沈陽科誠真空技術有限公司
    企業認證：
      
    所屬領域：
    冶金
    企業性質：
    -
    經營范圍：
    -
    聯系電話：
    13998121527
    詳細地址：
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