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    > 雙室高真空鍍膜設備

    雙室高真空鍍膜設備

    雙室高真空鍍膜設備

    188
    規格/型號：暫無
    品牌：科誠
    應用領域：冶金
    產地：遼寧 - 沈陽
    廠家/供應商：沈陽科誠真空技術有限公司
    咨詢電話:：13998121527（請說明信息源自“中冶有色網”）
    更新時間：2025-03-27
    級別：待認證

    雙室高真空鍍膜設備說明介紹

    雙室高真空鍍膜設備

    一、電子束水冷樣品臺組件1件


      1、旋轉：57CM23步進電機，1件光電限位開關（前后兩點）；

      2、升降：57CM23步進電機，配速比1:5減速器，升降2點接觸限位開關，觸摸屏上顯示電子束高點400mm，低點300mm，金屬源高點340mm，低點240mm，另取1點，可隨意定位；

     3、樣品臺擋板：24V減速電機，2件限位開關。

    二、有機水冷樣品臺組件1件

      1、旋轉：57CM23步進電機，1件光電限位開關（前后兩點）；

      2、升降：57CM23步進電機，配速比1:5減速器，升降2點接觸限位開關（觸摸屏上顯示高點340mm，低點240mm），另取1點，可隨意定位；

      3、樣品臺擋板：24V減速電機，2件限位開關。

    三、電子束蒸發源組件

      1、8KW電子束1套，380V

      2、金屬源3套，1KW金屬源電源1套（一帶三）；

      3、氣動擋板4套，24V換向閥。

    四、有機蒸發源組件

      1、有機源6套，有機源電源3套（一帶二）；

      2、氣動擋板6套，24V換向閥。

    五、真空泵機組

      1、VRD-30雙級泵2臺（220V）；

      2、DDC-JQ40-KF真空電磁充氣閥2臺（220V）；

      3、GDQ-J40B-KF高真空氣動擋板閥2臺（24V）；

      4、JTFB-1200風冷復合分子泵1臺（220V）；

      5、JTFB-600風冷復合分子泵1臺（220V）；

      6、CCQ-200CF氣動超高真空插板閥1臺（24V）；

      7、CCQ-150CF氣動超高真空插板閥1臺（24V）；

      8、CDQ-J40B-CF超高真空氣動擋板閥2臺（24V）；

      9、GDQ-J16B-KF高真空氣動擋板閥2臺（24V）；

      10、ZDF-5227數顯真空計1臺（兩高兩低，測量范圍：1×105～1×10-5Pa）（220V）。

    六、烘烤照明

      24V，250W鹵鎢燈每套真空室各2套，烘烤照明電源：1臺或者兩臺

    七、電控系統

      采用機架內置，可用空間710mm高3列，左側上部170mm不可用，右側上部120mm不可用。

    八、10英寸觸摸屏

    九、電子束膜厚系統

      1、SQC310兩通道石英晶振膜厚監測儀1臺；

      2、MCVAC水冷膜厚探頭2件。

    十、膜厚系統

      1、SQM160兩通道石英晶振膜厚監測儀1臺；

      2、MCVAC水冷膜厚探頭2件

    十一、其他

      1、小型冷水機1臺；

      2、小型空壓機1臺。
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    雙室高真空鍍膜設備 電阻式熱蒸發設備
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    冶金
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