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    單室四源高真空電阻式鍍膜設備

    單室四源高真空電阻式鍍膜設備

    187
    規格/型號：暫無
    品牌：科誠
    應用領域：冶金
    產地：遼寧 - 沈陽
    廠家/供應商：沈陽科誠真空技術有限公司
    咨詢電話:：13998121527（請說明信息源自“中冶有色網”）
    更新時間：2025-03-27
    級別：待認證

    單室四源高真空電阻式鍍膜設備說明介紹

    單室四源高真空電阻式鍍膜設備

    1、真空室腔體:1套

    外形：304優質不銹鋼D形前后開門真空室腔體1套，后門采用鉸鏈式方門，方便清洗真空腔體，真空室內部調試，維修以及取放物品，前門采用橫拉方門，真空室內部尺寸D350*480mm，前后門各配DN100視窗1套;

    底部：有機源接口4套，JTFB-600風冷復合分子泵接口1套，CF25照明接口2套以及美國MCVAC水冷膜厚探頭接口2套;

    頂部：樣品臺接口1套，電動擋板接口1套，KF16氣動角閥接口1套;

    左側：CF35氣動預抽角閥接口1套。

    2、有機源系統：1套

    有機蒸發源4套：4CC石英舟，溫控電源2臺(溫控表顯示精度1℃)，溫度區間：室溫-500℃(控溫精度±1℃)，配氣動擋板;

    隔板：蒸發源相互獨立，隔板分隔，避免交叉污。

    3、樣品臺系統：1套

    基片旋轉：轉速0～30轉/分連續可調;

    基片升降：電動升降，襯底與蒸發源間距200-300mm通過觸摸屏連續可調;

    基片掛架：130×130mm基片臺，比如可承載最多25片15×15mm基片;

    基片擋板：電動擋板。

    4、真空泵機組：1套

    JTFB-600風冷復合分子泵1臺;

    8L/S直聯旋片泵1臺;

    CF150高真空氣動插板閥1臺;

    CF35高真空氣動擋板閥1臺;

    KF16高真空氣動擋板閥1臺;

    KF40高真空氣動擋板閥1臺;

    KF40真空電磁充氣閥1臺;

    KF40泵閥連接軟管2套，KF40三通1套;

    ZDF-5227數顯真空計1臺(測量范圍：1×105～1×10-5Pa)。

    5、膜厚檢測系統：1套

    膜厚儀：美國infocon，SQM160兩通道石英晶振膜厚監控儀1套;

    膜厚探頭：美國MCVAC水冷膜厚探頭1套。

    6、設備機架：1套

    40碳鋼方管焊接機架1套，表面噴塑;

    3英寸萬向輪4件，移動調整;

    M16地腳4件，鎖緊定位。

    7、其他電控系統：1套(電氣控制采用設備機架內置)

    烘烤照明電源：1臺;

    總控制電源(配7英寸觸摸屏，PLC控制器，樣品臺控制器，蒸發電源，泵閥開關、相序檢測，以及電纜開關接頭等)：1臺;

    8、其他技術參數：

    缺相保護、誤操作保護，聯動互鎖以及一鍵真空啟停等功能;

    供電：～220V兩相供電系統(峰值3KW);

    供水：小型冷水機，冷卻水溫度5℃～35℃，工作環境溫度：10℃～40℃;

    供氣：小型無油靜音氣泵，提供0.2-0.3MPa氣壓，驅動氣動閥門;

    極限真空：優于6×10-5Pa，大氣至6×10-4Pa時間優于35分鐘(充干燥氮氣)，關機12小時真空度≤10Pa。
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    高真空電阻式鍍膜設備 電阻式熱蒸發設備
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    冶金
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