• <tr id="qwu6y"></tr>
  • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>
  • 江蘇蘇青水處理工程集團有限公司
    宣傳

    位置:中冶有色 > 有色產品 >

    > 加工設備

    > 陣列式等離子體增強化學氣相沉積系統(PECVD)

    陣列式等離子體增強化學氣相沉積系統(PECVD)

    陣列式等離子體增強化學氣相沉積系統(PECVD)

    441
    規格/型號:暫無
    品牌:科誠
    應用領域:材料制備
    產地:遼寧 - 沈陽
    廠家/供應商:沈陽科誠真空技術有限公司
    咨詢電話::13998121527(請說明信息源自“中冶有色網”)
    更新時間:2025-03-28
    級別:待認證

    陣列式等離子體增強化學氣相沉積系統(PECVD)說明介紹

    陣列式等離子體增強化學氣相沉積系統(PECVD)

    陣列式PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)是一種高效、大面積的化學氣相沉積設備,通過等離子體激活反應氣體,在低溫下實現高質量薄膜的快速沉積。

    三個真空室共用二套真空機組。沉積室的樣品臺可加熱、可升降。

    本套系統的三個沉積室采用圓柱形(φ430*456)立式安裝全封閉結構,門上帶觀察窗;整套機組所用主要器件有插板閥五個(連接幾個沉積室的插板閥為CF150的二個,其余三個CF150插板閥連接分子泵)。分子泵三臺(600L/S)、機械泵三臺(4L/S),可升降、帶加熱樣品臺三套、樣品傳遞機構一套,其中二個CF150插板閥是三個真空室之間傳遞樣品用的。

    電控方面主要器件有;電控柜兩臺、PLC程控機一臺、樣品臺加熱電源三臺、真空計四臺、流量顯示儀2臺及其它各種電器配件等等。

    系統構成包括沉積室(P、N、I室)、氣路控制系統、電控系統、安全保護報警系統等部分。

    抽真空時間:沉積室;40分鐘達5x10-4 Pa,

    設備總體漏率;停機12小時后≤ 5Pa。
    分享 0
             
    舉報 0
    收藏 0
    反對 0
    點贊 0

    全國熱門有色金屬設備推薦

    沈陽科誠真空技術有限公司
    企業認證:
      
    所屬領域:
    材料制備
    企業性質:
    -
    經營范圍:
    -
    聯系電話:
    13998121527
    詳細地址:
    -

    報名參會

    湖南 - 長沙
    2025年08月07日 ~ 09日
    北京 - 北京
    2025年08月08日 ~ 10日
    寧夏 - 銀川
    2025年08月14日 ~ 16日
    湖南 - 株洲
    2025年08月15日 ~ 17日
    內蒙 - 呼和浩特
    2025年08月18日 ~ 20日
    碲產業報告2025
    推廣

    推薦產品
    更多+

    廠家:珠海歐美克儀器有限公司
    廠家:南京蘭江泵業有限公司
    廠家:珠海歐美克儀器有限公司
    廠家:濟南科盛試驗設備有限公司
    廠家:珠海歐美克儀器有限公司
    山東省章丘鼓風機股份有限公司
    宣傳

    推薦企業
    更多+

    安徽霍桐儀器有限公司
    宣傳

    發布

    在線客服

    公眾號

    電話

    頂部
    咨詢電話:
    010-88793500-807
    店鋪認領信息登記
    久爱国产精品一区免费视频_无码国模国产在线观看_久久久久精品国产亚洲A_国产综合精品无码
  • <tr id="qwu6y"></tr>
  • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>