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    高溫化學氣相沉積系統/cvd鍍膜

    高溫化學氣相沉積系統/cvd鍍膜

    186
    規格/型號：KJ-T1500CVD-DZ
    品牌：鴻爐機械
    應用領域：材料制備
    產地：河南 - 鄭州
    廠家/供應商：河南鴻爐機械設備有限公司
    咨詢電話:：177-3714-9370（請說明信息源自“中冶有色網”）
    更新時間：2025-07-29
    級別：待認證

    高溫化學氣相沉積系統/cvd鍍膜說明介紹

    高溫化學氣相沉積系統/cvd鍍膜

    設備介紹

    此款定制高溫氣相沉積系統由高溫沉積室、升華室、供氣系統及真空系統組成。該CVD高溫管式爐主要用廣泛應用于半導體工業中沉積薄膜材料，包括大范圍的絕緣材料，以及大多數金屬材料和金屬合金材料、二維材料等，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結等實驗。

    產品優勢

    超溫保護和報警

    有超溫保護和報警，及過熱和熱電偶斷裂保護功能，允許在無人值守的情況下運行

    30段智能PID程序控溫

    控溫系統采用PID方式調節，可以設置30段升降溫程序，控溫精度可以達到±1℃

    法蘭采用雙環密封技術

    有效的提高了法蘭的氣氛性，法蘭上裝有多種接頭，可接電阻真空計、真空波紋管并能做成容易撤卸的鉸鏈式

    技術參數

    產品名稱 定制高溫CVD系統

    沉積爐

    產品型號 KJ-T1500CVD-DZ

    爐膛模式 開啟式

    爐膛材料 氧化鋁耐火纖維

    加熱元件 U型硅鉬棒

    極限溫度 1600℃高溫區

    工作溫度 ≤1500℃高溫區

    升溫速率 ≤10℃/min

    加熱溫區 單溫區、雙溫區、多溫區，可根據需求選擇

    溫區總長度 200mm、300mm、400mm可選

    (其他尺寸可根據客戶需求定制)

    爐管材質 剛玉管

    爐管直徑 40mm、50mm、60mm、80mm、100mm可選

    (其他尺寸可根據客戶需求定制)

    密封方式 定制不銹鋼真空法蘭一套(含密封硅膠圈)

    底部法蘭有三個進氣口 方便進氣

    底部法蘭加支架 方便工件放在沉積爐低溫區

    控制模式 每個溫區單獨 30段智能PID程序控溫

    溫度曲線 多段"時間—溫度曲線"任意可設

    測溫元件 B型雙鉑銠熱電偶

    供氣系統 集成在控制柜上

    氣體通道 可同時連接多種氣源

    流 量 計 浮子流量計

    A路量程 1L/MIN

    B路量程 1L/MIN

    C路量程 1L/MIN

    氣路壓力 -0.1～0.15 MPa

    截止閥 不銹鋼材質

    氣體連接管 1/4不銹鋼管

    氣化爐A、B

    最高溫度 700℃

    工作溫度 ≤500℃

    爐膛尺寸 定制

    開門方式 上開

    進氣口 一個進氣口

    出氣口 一個出氣口

    售后服務 12個月質保(易耗件及人為損壞除外)，終身保修
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    高溫化學氣相沉積系統 cvd鍍膜
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    河南鴻爐機械設備有限公司
    企業認證：
      
    所屬領域：
    材料制備
    企業性質：
    -
    經營范圍：
    -
    聯系電話：
    177-3714-9370
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