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    > 三溫區CVD設備

    三溫區CVD設備

    三溫區CVD設備

    341
    規格/型號：KJ-OTF-1700-F5
    品牌：鴻爐機械
    應用領域：材料制備
    產地：河南 - 鄭州
    廠家/供應商：河南鴻爐機械設備有限公司
    咨詢電話:：177-3714-9370（請說明信息源自“中冶有色網”）
    更新時間：2025-07-29
    級別：待認證

    三溫區CVD設備說明介紹

    三溫區CVD設備

    設備介紹

    這款CVD反應爐控制電路選用模糊PID程控技術，該技術控溫精度高，熱慣性小，溫度不過沖，性能可靠，操作簡單，中真空系統具有真空度上下限自動控制功能，高真空系統采用高壓強，耐沖擊分子泵防止意外漏氣造成分子泵損壞，延長系統使用壽命。此款三溫區CVD生長系統適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電(MLCC)氣氛燒結等實驗。

    產品優勢

    PID程控控制系統

    控制電路選用模糊PID程控技術，該技術控溫精度高，熱慣性小，溫度不過沖，性能可靠

    耐沖擊高真空系統

    高真空系統采用高壓強，耐沖擊真空泵，防止意外漏氣造成真空泵損壞，延長系統使用壽命

    剛玉材質爐管

    爐管采用剛玉材質，工作溫度可達1600度，具有高溫穩定性和耐腐蝕性，加熱均勻性好

    技術參數

    名稱 高溫三溫區CVD設備

    型號 KJ-OTF-1700-F5

    加熱系統

    顯示 LED

    最高溫度 1700℃

    工作溫度 ≤1600℃

    升溫速率 建議0~10℃/min

    溫區數量 3

    溫區長度 220mm(其他尺寸可根據客戶需求定制)

    加熱元件 硅鉬棒

    熱電偶 B型

    控溫精度 ±1℃

    管尺寸 外徑80mm * 長度1400mm

    (其他尺寸可根據客戶需求定制)

    材質：剛玉

    溫度控制 PID自動控制

    溫控方式 30段可編程

    真空計 復合真空計

    真空法蘭 帶閥門和針頭的不銹鋼真空法蘭

    真空泵系統

    真空泵組(旋片泵+擴散泵) 冷態極限真空6.67*10-3Pa。

    質量流量計(5氣路)

    流量范圍 (20, 30, 50, 100, 200, 300, 500) SCCM
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    標簽：
    三溫區CVD設備 CVD設備
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    河南鴻爐機械設備有限公司
    企業認證：
      
    所屬領域：
    材料制備
    企業性質：
    -
    經營范圍：
    -
    聯系電話：
    177-3714-9370
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