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    立式PECVD設備

    立式PECVD設備

    228
    規格/型號：KJ-PECVD-DZ
    品牌：鴻爐機械
    應用領域：材料制備
    產地：河南 - 鄭州
    廠家/供應商：河南鴻爐機械設備有限公司
    咨詢電話:：177-3714-9370（請說明信息源自“中冶有色網”）
    更新時間：2025-07-29
    級別：待認證

    立式PECVD設備說明介紹

    立式PECVD設備

    設備介紹

    定制立式PECVD設備，由真空立式管式爐、石英真空室、射頻電源、供氣系統、真空測量系統組成。該系統以含鉬電阻絲為加熱元件，采用雙層殼體結構和30段程序控溫儀表，移相觸發、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，爐管兩端能不銹鋼法蘭密封，不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表，真空泵接口，具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能等優點。PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學活性很強，很容易發生反應，在基片上沉積出所期望的薄膜。 該系統廣泛應用于沉積高質量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬質薄膜、光學薄膜和炭納米管(CNT)、石墨烯材料等。

    產品優勢

    沉積效果好

    等離子體化學活性很強，很容易發生反應，在基片上沉積出所期望的薄膜

    成品質量好

    PECVD具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質量好、針孔較少、不易龜裂等優點

    沉積應力大小可調

    可以通過射頻電源的頻率來控制所沉積薄膜的應力大小

    技術參數

    產品名稱 定制PECVD設備

    產品型號 KJ-PECVD-DZ

    立式管式爐

    爐膛模式 立式開啟式

    爐膛材料 高純度氧化鋁耐火纖維

    加熱元件 含鉬加熱絲

    極限溫度 1200℃

    工作溫度 ≤1100℃

    升溫速率 建議≤10℃/min

    加熱溫區 單溫區、多溫區

    溫區長度 200mm、300mm、440可選

    (其他尺寸可根據客戶需求定制)

    爐管材質 高純石英

    爐管直徑 40mm/50mm/60mm/80mm/100mm/120mm/150mm可選

    (其他尺寸可根據客戶需求定制)

    密封方式 304不銹鋼真空法蘭一套(含密封硅膠圈)

    控制模式 觸屏 30段智能PID程序控溫 預留通訊接口

    控溫精度 ±1℃

    溫度曲線 多段"時間—溫度曲線"任意可設

    測溫元件 N型熱電偶

    氣路系統

    氣體通道 可同時連接多種氣源

    流 量 計 質量流量計

    氣路壓力 -0.1～0.15 MPa

    截止閥 不銹鋼材質

    氣體連接管 1/4不銹鋼管

    等離子電源系統

    功率范圍 0-100W、0-300W 、0-500W ± 1%

    冷卻 風冷

    數顯真空計及連接件

    數顯真空計 數顯真空計安裝在不銹鋼法蘭上

    真空泵組(相關連接配件)

    真空泵 真空泵,及相應連接管件

    汽化系統 ...

    蠕動泵 精確度：+/- 0.5% FS

    流量: 0 - 10 ml/min，可調，最小速率0.1ml/min
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    立式PECVD設備 PECVD設備
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    河南鴻爐機械設備有限公司
    企業認證：
      
    所屬領域：
    材料制備
    企業性質：
    -
    經營范圍：
    -
    聯系電話：
    177-3714-9370
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