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設備名稱 Equipment Name
管式PECVD設備 Horizontal PECVD
設備型號 Equipment Model
PD-520/PD-520L/PD-520MAX
設備用途 Equipment Application
SiN、SiON等薄膜沉積。
Depositionof SiN, SiON ,etc.
技術特點 Features
1、可靠電極接觸，有效減少粉塵、降低高頻報警頻次。
Reliable electrode contact, effectively reduce dust as well as the frequency of high frequency alarms.
2、簡單可靠自動上下舟機構，提升設備維護空間與便利。
Simple and reliable automatic boat loading/unloading unit improves themaintenance space and convenience of the equipment.
3、運動部件單面安裝維護，減少設備背靠背布局占地面積的同時不影響設備維護難度。
Single-sided installation and maintenance of moving parts,reducing the footprint of the back-to-back equipment without affecting the maintenance of the equipment.
4、高速平穩整體模組推舟機構。
High-speed and stable integral module boat pushing mechanism.
5、輔助加熱專利技術。
Auxiliary heating patent technology.
6、快速鍍膜工藝技術。
Rapid coating technology.
7、自主知識產權MES軟件、中央計算機集中控制系統。
MES software & CCC system with independent intellectual property rights.
設備參數 Parameters
最大兼容硅片尺寸:230mm
·Max.Compatible Wafer Size:□230mm
·單機管數:5管/6管
·Tube Configuration: 5 tubes/6 tubes
·單管裝片量Loading Capacity/Tube
機型Model□182\210
PD-520：558片/管(pcs/tube)、448片/管(pcs/tube)
PD-520L：640片/管(pcs/tube)、504片/管(pcs/tube)
PD-520MAX：768片/管(pcs/tube)、616片/管(pcs/tube)
·單機產能Throughput、Topcon、PERC
機型Model□182□210、182□210
PD-520 (5管/tubes)：正膜Front PECVD: 3700 pcs/h、正膜Front PECVD: 2950 pcs/h、正膜Front PECVD: 4750 pcs/h、正膜Front PECVD: 3800 pcs/h、背膜 Rear PECVD: 4400pcs/h、背膜 Rear PECVD: 3500 pcs/h
PD-520L(6管/tubes)：正膜 Front PECVD:5100 pcs/h、正膜Front PECVD: 4000 pcs/h、正膜 Front PECVD:6550 pcs/h、正膜Front PECVD:5150 pcs/h、背膜 Rear PECVD:6050 pcs/h、背膜 Rear PECVD: 4750 pcs/h
PD-520MAX(6管/tubes)：正膜Front PECVD: 6100 pcs/h、正膜Front PECVD:4900 pcs/h 正膜Front PECVD: 7900 pcs/h、正膜Front PECVD: 6300 pcs/h、背膜 Rear PECVD: 7250 pcs/h、背膜 Rear PECVD: 5800 pcs/h
·外形尺寸(mm，含地腳，不含泵)Footprint (mm, incl.leveling foot, excl. pumps)
PD-520：9094x2240x3995(5管/tubes)
PD-520L：9570x2150x4410(6管/tubes)、9570x2150 x3720(5管/tubes)
PD-520MAX：11050x2150x4500(6管/tubes)、11050x2150x3870(5管/tubes)
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江西 - 南昌
2025年06月06日 ~ 08日
