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    搖臂式集成控制PECVD設備

    搖臂式集成控制PECVD設備

    193
    規格/型號：KJ-PECVD-L
    品牌：鴻爐機械
    應用領域：材料制備
    產地：河南 - 鄭州
    廠家/供應商：河南鴻爐機械設備有限公司
    咨詢電話:：17737149370（請說明信息源自“中冶有色網”）
    更新時間：2025-07-24
    級別：待認證

    搖臂式集成控制PECVD設備說明介紹

    搖臂式集成控制PECVD設備

    設備介紹

    科佳高真空PECVD設備由管式爐、真空系統、氣體供應系統、射頻電源系統等組成。通過射頻電源將石英真空室中的氣體改變為離子狀態，等離子體化學活性很強，很容易發生反應，在基片上沉積出所期望的薄膜。該系統主要用于金屬薄膜、陶瓷薄膜、復合薄膜、石墨烯等的生長。

    產品優勢

    更好的沉積效率

    PECVD比普通CVD具有更高的化學氣相沉積速率、更好的均勻性、一致性和穩定性

    所需溫度更低

    PECVD對于化學氣相沉積需要比普通CVD更低的溫度

    成品質量好

    具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質量好、針孔較少、不易龜裂等優點

    技術參數

    產品名稱 搖臂式集成控制PECVD設備

    產品型號 KJ-PECVD

    第一部分滑軌管式爐部分

    爐管尺寸 Φ25mmX1600mm(最終長度取決于最終設計)

    爐管材料 石英管

    加熱區 200+200mm (雙溫區)

    工作溫度 ≤1100°C

    最高溫度 1200°C

    溫度控制方法 N型熱電偶

    控制方式 觸摸屏控制，帶獨立搖臂，可根據實際需要調節溫控屏角度，使用更方便

    溫度控制精度 ±1℃

    溫度控制保護 具有過熱和燒毀保護功能

    加熱速率 建議≤10oC/min，最大20oC/min

    加熱元件 電阻絲

    工作電壓 交流220V單相50HZ/60HZ(電路電壓用戶可選擇定制)

    加熱功率 4KW

    爐膛材料 氧化鋁多晶纖維

    爐膛結構 爐體有滑軌，可實現快速加熱和冷卻

    真空法蘭 標準配置配有兩個不銹鋼真空法蘭，已安裝機械壓力表和不銹鋼截止閥

    密封系統 爐管和法蘭采用硅膠O型圈擠壓密封，拆卸方便，可反復拆卸，氣密性好。

    外殼 碳鋼或不銹鋼外殼

    可選 輔助冷卻風扇

    第二部分真空系統部分

    名稱 真空系統

    主要參數 1.采用中國品牌高真空分子泵組，極限真空度可達6.7x10-3pa(空冷狀態)

    2.KF25快速連接，不銹鋼波紋管，手動擋板閥和法蘭，真空泵連接;

    3、數字真空顯示，測量范圍為5×10-50-150mbar，測量精度高

    第三部分供氣系統部分

    名稱 四通質量流量計

    主要參數 四通道精密質量流量計：觸摸屏控制、數字顯示、自動控制

    1、流量范圍：MFC 1-MFC3:10-1000sccm可調

    MFC1:CH4 0-10sccm

    MFC2:H2 0-200sccm

    MFC3:0-200sccm

    MFC4:0-300sccm

    控制精度：±1.5%F.S。

    2.一個混合罐

    3.供氣系統左側安裝4個不銹鋼針閥，可手動控制4種氣體;

    4.進風口和出風口：4進1出

    流量控制：LCD觸摸屏

    注：不支持液體或腐蝕氣體。

    第四部分等離子電源部分

    名稱 500W等離子電源

    功率范圍 0-500W(連續可調)

    工作頻率 13.56兆赫+0.05%

    操作模式 連續輸出

    RF輸出阻抗接口 N型，內螺紋(50Ω)

    功率穩定性 ≤2W

    最大反射功率 70W

    電源保護設置 直流過流保護、功率放大器過溫保護、反射功率保護

    電源電壓/頻率 單相交流(187V-253V)50-60HZ

    冷卻法 空氣冷卻
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    PECVD設備 管式PECVD設備
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    河南鴻爐機械設備有限公司
    企業認證：
      
    所屬領域：
    材料制備
    企業性質：
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