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    雙爐體CVD設備

    雙爐體CVD設備

    340
    規格/型號：KJ-T1200-W2
    品牌：鴻爐機械設
    應用領域：材料制備
    產地：河南 - 鄭州
    廠家/供應商：河南鴻爐機械設備有限公司
    咨詢電話:：177-3714-9370（請說明信息源自“中冶有色網”）
    更新時間：2025-07-29
    級別：待認證

    雙爐體CVD設備說明介紹

    雙爐體CVD設備

    設備介紹

    該雙爐體CVD系統為定制款，適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結等實驗。

    產品優勢

    PID溫控系統

    控制電路選用模糊PID程控技術，該技術控溫精度高，熱慣性小，溫度不過沖，性能可靠，操作簡單

    專利法蘭設計

    氣路快速連接法蘭結構采用本公司獨有的知識產權專利設計,提高操作便捷性

    智能真空系統

    中真空系統具有真空度上下限自動控制功能，高真空系統采用高壓強耐沖擊分子泵，防止意外漏氣造成分子泵損壞

    技術參數

    產品型號 KJ-T1200-W2

    管式爐部分

    爐體結構 雙層殼體結構，配有冷風系統自動降溫爐殼溫度

    爐膛材質 日本技術真空吸附成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡

    最高溫度 1200℃

    使用溫度 ≤1100℃

    升溫速度 推薦≤10℃/min

    爐管材料 石英管

    爐管尺寸 外徑:50mm*內徑:44mm* 長1400mm

    (其他尺寸可根據客戶需求定制)

    加熱區長度 200mm+200mm(雙爐體)

    (其他尺寸可根據客戶需求定制)

    法蘭 不銹鋼密封法蘭，拆卸方便，法蘭上裝有精密針閥

    溫控系統 溫度控制系統采用人工智能調節技術，具有PID調節、自整定功能，并可編制30段升降溫程序;

    1、采用PID方式調節控溫，可設置30段升降溫程序

    2、控溫精度±1oC

    3、具有過溫保護、斷偶保護

    4、儀表具有溫度自整定的功能

    加熱元件 合金電阻絲

    測溫元件 2支N型熱電偶分別獨立控溫

    進出氣口 法蘭上含有進出氣口和精密針閥

    氣路系統部分

    質量流量計

    二路精密質量流量計：數字顯示、氣體流量自動控制。

    MFC1 N2 范圍: 0-1000 sccm

    MFC2 CO2范圍: 0-1000 sccm

    氣路:2路
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    標簽：
    雙爐體CVD設備 CVD設備
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    河南鴻爐機械設備有限公司
    企業認證：
      
    所屬領域：
    材料制備
    企業性質：
    -
    經營范圍：
    -
    聯系電話：
    177-3714-9370
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