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    1200℃高溫真空CVD設備

    1200℃高溫真空CVD設備

    176
    規格/型號：KJ-T1200-S6012LK1-3FH5S
    品牌：鴻爐機械
    應用領域：材料制備
    產地：河南 - 鄭州
    廠家/供應商：河南鴻爐機械設備有限公司
    咨詢電話:：177-3714-9370（請說明信息源自“中冶有色網”）
    更新時間：2025-07-29
    級別：待認證

    1200℃高溫真空CVD設備說明介紹


    設備介紹

    KJ-T1200-S6012LK1-3FH5S型高溫真空CVD設備由KJ-T1200滑動式快速退火管式爐+真空系統+供氣系統組成 ，最高溫度可以達到1200度,可以是單溫區、雙溫區、三溫區等，極限真空可以達到10-3Pa，供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流量計，混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合，可以對多種氣體進行準確的混氣，然后導入到管式爐內部。爐管兩端安裝真空法蘭，可以通過選配真空泵組來實現更高的真空度。爐底安裝一對滑軌，可用手動滑動。為取得最快加熱，可以預先加熱爐子到設定的溫度，然后移動爐子到樣品位置。為獲得最快冷卻，可在樣品加熱后移動爐子到另一端，是低成本快速熱處理的理想爐子。

    產品優勢

    雙層內膽爐殼，配有風冷系統，快速升降溫

    整個爐體采用雙層內膽式結構，中間有氣隙隔離，即使爐膛溫度很高，爐體表面仍然可以安全觸摸無滾燙感覺

    多晶纖維爐膛，節能耐腐蝕

    重量輕、升溫速度快、節能、省時、耐高溫、耐腐蝕、保溫性好，能滿足何種快速燒結的要求

    微電腦PID控制器，操作簡便

    操作簡便，控溫準確、可靠、安全多段可編程控制，可以簡化復雜的試驗過程，真正實現自動控制和運行
    技術參數

    結構 采用雙層殼體結構，并帶有風冷，用于江堤殼體表面溫度

    加熱元件 電阻絲

    工作溫度 ≤1100°C

    最高溫度 1200°C

    最大升溫速率 建議10°C/min

    加熱區長度 400mm (其他尺寸可根據客戶需求定制)

    溫控系統 一個精密溫度控制器 PID方式控制，通過可控硅 SCR可設置30段升降溫程序。

    控溫精度 +/-1°C

    爐管材質和尺寸 石英管 內徑: 72mm x 外徑: 80 mm x 長度:1000 mm

    (其他尺寸可根據客戶需求定制)

    密封法蘭 兩個不銹鋼密封法蘭，法蘭上已經安裝數字式真空顯示計，和閥門通過機械泵真空壓力可以達到5x10-2 torr，泄漏率最大6 mtorr/min

    真空泵 真空泵：一個雙旋片式機械泵安裝在移動架內通過此機械泵真空度可以達到 5x10^-2 torr

    氣體流量計

    4個浮子流量計，可同時混入4種不同氣體。

    四通道控制 精度0.02% 、數字顯示、自動控制
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    標簽：
    真空CVD設備 CVD設備
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    河南鴻爐機械設備有限公司
    企業認證：
      
    所屬領域：
    材料制備
    企業性質：
    -
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    -
    聯系電話：
    177-3714-9370
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