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    中試-量產 電子束蒸發鍍膜系統

    中試-量產 電子束蒸發鍍膜系統

    327
    規格/型號：DE500P
    品牌：德儀天力
    應用領域：材料制備
    產地：北京 - 北京
    廠家/供應商：北京德儀天力科技發展有限公司
    咨詢電話:：010-67832716/17（請說明信息源自“中冶有色網”）
    更新時間：2025-04-02
    級別：待認證

    中試-量產 電子束蒸發鍍膜系統說明介紹

    中試-量產 電子束蒸發鍍膜系統

    DE500P 電子束蒸發鍍膜系統配置兩個電子束蒸發源，可在基片共蒸發沉積金屬、半導體或介質材料。

    典型應用

    適用于量產

    LIFT-OFF工藝鍍膜

    可蒸發金屬、半導體或介質材料

    可蒸發磁性材料

    可雙源共蒸發

    可選RF等離子體或離子源基片清洗

    可選基片氧化

    主要配置

    蒸發腔體：不銹鋼腔體

    真空泵：蒸發室配備分子泵或冷凝泵和無油機械泵

    真空閥門：高真空閥門

    真空測量：寬量程真空計

    蒸發源：兩個電子束蒸發源

    樣品臺：

    公轉/自轉基片臺

    (可選加熱至300℃)

    膜厚檢測：晶振速率膜厚監控

    主要技術指標

    極限真空度：5E-8 Torr

    基片尺寸：可選：2英寸、4英寸、6英寸、8英寸、12英寸

    片內膜厚均勻性：≤+/-3%

    片間膜厚重復性：≤+/-2%

    蒸發速率分辨率：0.01 A/s

    膜厚分辨率：0.1 A
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    電子束蒸發鍍膜系統
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    北京德儀天力科技發展有限公司
    企業認證：
      
    所屬領域：
    材料制備
    企業性質：
    -
    經營范圍：
    -
    聯系電話：
    010-67832716/17
    詳細地址：
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