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    表面缺陷檢測系統

    表面缺陷檢測系統

    344
    規格/型號：Candela? 8420
    品牌：中海遠創
    應用領域：檢測設備
    產地：北京 - 北京
    廠家/供應商：北京中海遠創材料科技有限公司
    咨詢電話:：010-8462 0179（請說明信息源自“中冶有色網”）
    更新時間：2025-07-02
    級別：待認證

    表面缺陷檢測系統說明介紹

    Candela® 8420 表面缺陷檢測系統

    Candela® 8420 表面缺陷檢測系統


    Candela 8420是一種表面缺陷檢測系統，它使用多通道檢測和基于規則的缺陷分類，對不透明、半透明和透明晶圓（如砷化鎵、磷化銦、鉭酸鋰、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石和其他化合物半導體材料）提供微粒和劃痕檢測。8420表面缺陷檢測系統采用了OSA（光學表面分析儀）架構，可以同時測量散射強度、形貌變化、表面反射率和相位變化，從而對各種關鍵缺陷進行自動檢測與分類。只需幾分鐘即可完成全晶圓檢測，并生成高分辨率圖像和自動化檢測報告，同時附帶缺陷分類和晶圓圖。

    產品說明

    Candela 8420晶圓檢測系統可以檢測不透明、半透明和透明晶圓（包括玻璃、單面拋光藍寶石、雙面拋光藍寶石）的表面缺陷和微粒；滑移線；砷化鎵和磷化銦的凹坑和凸起；表面haze map；以及鉭酸鋰、鈮酸鋰和其他先進材料的缺陷。8420表面檢測系統用于化合物半導體工藝控制（晶圓清潔、外延前后）。其先進的多通道設計提供了比單通道技術更高的靈敏度。CS20R配置的光學器件經過優化，可用于檢測化合物半導體材料，包括光敏薄膜。

    功能

    檢測直徑達200毫米不透明、半透明和透明化合物半導體材料上的缺陷
    手動模式支持掃描不規則晶圓
    支持各種晶圓厚度
    適用于微粒、劃痕、凹坑、凸起和沾污等宏觀缺陷

    應用案例

    襯底質量控制
    襯底供應商對比
    入廠晶圓質量控制 (IQC)
    出廠晶圓質量控制 (OQC)
    CMP（化學機械拋光工藝）/拋光工藝控制
    晶圓清潔工藝控制
    外延工藝控制
    襯底與外延缺陷關聯
    外延反應器供應商的對比
    工藝機臺監控

    行業

    包括垂直腔面發射激光器在內的光子學
    LED
    通信（5G、激光雷達、傳感器）
    其他化合物半導體器件

    選項

    SECS-GEM
    信號燈塔
    金剛石劃線
    校準標準
    離線軟件
    光學字符識別 (OCR)
    CS20R配置用于檢測光敏薄膜
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    表面缺陷檢測系統 檢測設備
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    北京中海遠創材料科技有限公司
    企業認證：
      
    所屬領域：
    檢測設備
    企業性質：
    -
    經營范圍：
    -
    聯系電話：
    010-8462 0179
    詳細地址：
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