UVISEL Plus 橢圓偏振光譜儀
簡介
HORIBA UVISEL Plus 相位調制型橢圓偏振光譜儀基于新版的電子設備,數據處理和高速單色儀,Fastacq技術能夠為用戶提供高分辨及快速的數據采集。FastAcq為薄膜表征特殊設計,雙調制技術使您可以獲得完整的測試結果。
HORIBA UVISEL Plus 橢圓偏振光譜儀產品介紹:
HORIBA UVISEL Plus 相位調制型橢圓偏振光譜儀基于新版的電子設備,數據處理和高速單色儀,Fastacq技術能夠為用戶提供高分辨及快速的數據采集。FastAcq為薄膜表征特殊設計,雙調制技術使您可以獲得完整的測試結果。相位調制與消色差光學設計的結合提供了特別的膜厚測試效果。配備雙單色儀系統的特殊設計滿足用戶的期望值,通過模塊化的設計,更多的附件選擇,使得儀器使用能變得靈活??梢员碚鞲鞣N薄膜材料,包括介電薄膜、半導體、有機物、金屬、超材料和
納米材料等。
HORIBA UVISEL Plus 橢圓偏振光譜儀產品優勢:
靈敏:測量速度有明顯提升
UVISEL Plus相位調制橢偏儀提供簡單快速的偏振調制,可用于各種樣品的測量,FastAcq快速采集技術使得測試靈敏度有了提升,從而能獲得界面簿膜和納米級低襯度襯底樣品的更多信息。
靈活
UVISEL Plus相位調制橢偏儀模塊化設計,可靈活拓展,以適應您的應用及預算需求。相較于其他供應商,UVISEL Plus相位調制橢偏儀系統的可升級性能將更好的滿足您未來的應用需求(190-2100nm),校準僅需幾分鐘。
簡單
AutoSoft軟件界面以工作流程直觀為特點,使得數據采集分析更加簡便,易于非專業人員上手操作。
快速
UVISEL Plus相位調制橢偏儀集成了FastAcq快速采集技術,可在3分鐘以內實現高分辨的樣品(190-2100nm),校準僅需幾分鐘。
HORIBA UVISEL Plus 橢圓偏振光譜儀產品測量原理:
HORIBA UVISEL Plus 橢偏儀是利用薄膜的光學特性進行膜厚測量的非接觸測量方法?;谄窆夥瓷浠蛲干鋾r的狀態變化來測量薄膜的厚度和折射率。當偏振光照射到薄膜表面時,反射光或透射光的偏振狀態會發生變化,這種變化依賴于薄膜的厚度、折射率以及入射光的偏振狀態和角度。通過分析這些變化,可以準確地推導出薄膜的厚度。