工作原理
MarSurf CD140采用激光三角反射法,通過發射高穩定性激光束照射被測表面,反射光經高精度光學透鏡組聚焦至CMOS傳感器陣列。系統根據光斑在傳感器上的位移變化,結合三角幾何關系實時計算表面輪廓高度數據,采樣頻率高達50kHz,確保對微米級甚至納米級表面特征的精準捕捉。配套的MarWin分析軟件支持ISO、ASME、DIN等20余項國際標準,可自動生成3D形貌圖、功率譜密度圖等可視化報告。
應用范圍
覆蓋金屬/非金屬加工件的表面形貌分析場景:發動機缸孔表面粗糙度驗證、航空葉片涂層厚度均勻性檢測、半導體晶圓表面缺陷篩查、模具型腔紋理復制精度評估等。其0.1nm垂直分辨率與40mm水平測量范圍,適配實驗室超精密測量與生產線快速檢測雙重需求,尤其適合曲面、異形件及微結構表面的形貌分析。
技術參數
垂直分辨率0.1nm,水平測量范圍40mm(可選配80mm擴展模塊);激光波長655nm(可見紅光),測量速度0.01-5mm/s可調;支持Ra、Rz、Rq等30余項粗糙度參數分析;配備12英寸觸控屏與以太網/USB 3.0數據接口,兼容MES/ERP系統;工作溫度范圍15-35℃,濕度≤75%RH,防護等級IP40。
產品特點
德國進口激光源與光學組件確保長期穩定性,重復測量誤差<1%;智能抗振動算法有效抑制環境干擾,適合車間現場使用;一鍵式自動校準功能5分鐘完成全參數標定;模塊化設計支持激光/接觸式雙探頭切換,擴展性強;專業分析軟件內置AI輔助缺陷識別功能,可自動標記劃痕、毛刺等表面異常,助力企業實現質量追溯與工藝改進。