工作原理:
該儀器采用電磁力驅動與電容位移傳感技術,通過高精度壓頭(如Berkovich、Vickers等)對試樣表面施加可控載荷,同時利用激光干涉或壓電陶瓷位移傳感器實時監測試樣壓痕深度。測試過程中,系統根據載荷-深度曲線(P-h曲線),結合Oliver-Pharr理論模型,自動計算材料的硬度(H)、彈性模量(E)等力學參數,全程由全數字閉環控制系統確保加載穩定性與數據精度。
應用范圍:
適用于金屬、陶瓷、高分子材料、復合材料、薄膜、涂層、生物組織等試樣的納米壓痕測試,可完成材料表面硬度分布、薄膜結合強度、涂層韌性評估等試驗,尤其滿足半導體芯片、光學鍍膜、微電子封裝、生物醫用植入物等行業對微尺度力學性能的嚴苛測試需求。
產品技術參數:
最大載荷:50mN(可擴展至500mN);載荷分辨率:0.1μN;壓痕深度范圍:0.1nm~20μm;深度分辨率:0.01nm;最大掃描面積:50mm×50mm;加載速率:0.01mN/s~10mN/s;支持壓頭類型:Berkovich、Vickers、Knoop、球形等;工作溫度:10℃~40℃(環境控制可選)。
產品特點:
納米級位移控制實現超精密測試;模塊化壓頭設計支持快速更換以適應不同測試需求;實時圖像導航系統輔助精準定位壓痕點;智能軟件集成多參數分析模塊,支持批量數據處理與報告自動生成;開放式架構便于與原子力顯微鏡(AFM)或拉曼光譜聯用,為用戶提供材料力學-結構多維度表征能力。