工作原理
IF-Profiler采用垂直掃描白光干涉技術:通過分光鏡將寬帶光源分為參考光與測量光,后者經顯微物鏡聚焦至被測表面后反射,與參考光在CCD相機傳感器上形成干涉條紋;系統驅動壓電陶瓷(PZT)帶動物鏡沿光軸方向進行納米級步進掃描(步進精度1nm),同步采集不同高度位置的干涉圖像;運用相移干涉算法與頻域分析技術,從干涉信號中提取表面高度信息,重建三維形貌圖(垂直分辨率達0.01nm);結合智能去噪算法與形貌濾波器,自動分離表面波紋度與粗糙度成分,支持ISO 25178、GB/T 3505等國際國內標準參數計算。
應用范圍
適配金屬、陶瓷、聚合物、半導體及復合材料等多種材質表面,覆蓋多行業表面質量檢測需求:半導體領域(硅晶圓表面粗糙度Ra≤0.1nm驗證、光刻膠涂覆均勻性分析)、精密光學(激光晶體端面拋光質量篩查、光學薄膜表面缺陷檢測)、生物醫療(人工關節羥基磷灰石涂層厚度測量、牙科種植體表面處理工藝評估)、汽車制造(發動機缸體珩磨網紋角度檢測、曲軸軸頸表面粗糙度一致性控制)及3C電子(手機玻璃蓋板AF涂層耐磨性測試、陶瓷背板表面光澤度分析)等。
技術參數
垂直測量范圍0.1μm-10mm,垂直分辨率0.01nm,橫向分辨率0.5μm;掃描速度10μm/s-2mm/s可調,支持高速動態測量模式(最高500μm/s);數據輸出兼容ASCII、TXT、XML及專業分析軟件格式(MountainsMap、Gwyddion);設備重量18kg,尺寸450mm×350mm×500mm,工作溫度15-35℃,濕度≤70%RH;配備5MP高分辨率CCD相機與10×/20×/50×可更換物鏡,支持傾斜樣品測量(最大傾斜角±15°)。
產品特點
非接觸式測量,避免觸針劃傷軟質表面;智能軟件內置AI形貌分類算法,可自動識別劃痕、橘皮、孔洞等缺陷類型;提供一鍵式標準參數計算(Ra、Rz、Rq等20+參數)與自定義濾波器設置功能;支持與機器人聯動實現自動化生產線集成;通過CNAS實驗室認可與ISO 17025計量認證,數據可追溯至國際計量基準。IF-Profiler以“精準、高效、智能”的特性,重新定義表面粗糙度檢測技術新標準。