工作原理
DPT系列采用非接觸式激光共焦位移傳感技術:儀器主軸驅動被測工件以超低速(0.1-100rpm可調)旋轉,激光傳感器發射共焦光束聚焦于工件表面,通過檢測反射光波長變化實時采集輪廓數據點(每轉采樣點數高達32768點);系統運用高階傅里葉變換與最小區域法擬合理想幾何圖形,同步計算圓度、圓柱度、直線度及波紋度等參數,并支持諧波分析(最高500階)以定位加工誤差源。設備內置雙溫區補償模塊(主軸/傳感器獨立修正)與主動隔振系統,確保測量重復性≤0.02μm,精度符合ISO 12181-1與GB/T 22523標準。
應用范圍
聚焦超精密加工形位誤差檢測場景:精密軸承滾道圓度驗證(P4/P2級)、航空發動機葉片榫槽圓柱度分析(Ra≤0.2μm)、半導體晶圓傳輸輪同軸度控制(≤0.5μm)、醫療器械人工關節球頭圓度檢測(Φ10-50mm)、光學鏡片非球面輪廓度篩查等。其支持直徑Φ0.5-300mm、長度≤500mm的工件檢測,適配金屬、陶瓷、晶體及高分子材料,尤其適合科研院所超精密測量與高端制造產線在線抽檢。
技術參數
主軸轉速0.1-100rpm無級調節;激光傳感器量程±1mm,分辨率0.0001μm;徑向采樣點數1024-32768可選;圓度測量范圍0-10μm,圓柱度測量范圍0-20μm;7英寸電容觸摸屏支持實時3D形貌重建與諧波頻譜分析;內置2TB固態硬盤,存儲數據≥500萬組;支持USB/以太網/GPIB多通道通信;防護等級IP40,工作溫度20±1℃,濕度≤60%RH。
產品特點
全自動化檢測流程,一鍵完成工件裝夾、旋轉、采樣與報告生成;智能軟件內置20+種國際標準判定規則,自動標注誤差位置并生成修正建議;氣浮主軸設計將回轉誤差控制在≤0.03μm,保障超低速檢測穩定性;模塊化測頭支持快速更換(激光/電容/電感測頭可選),適配不同表面特性工件;通過CE、NMI認證,抗電磁干擾能力達10V/m,滿足無塵車間潔凈度要求。DPT系列以“極致精度、智能高效、穩定可靠”的特性,重新定義超精密圓度測量技術標桿。