工作原理
MMD-HPG150采用非接觸式激光共焦掃描與接觸式高精度探針雙模檢測技術:激光共焦傳感器通過發射多波長光束聚焦于工件表面,實時捕捉微米級形貌變化;接觸式探針(可選配)以極低壓力(≤0.5mN)劃過表面,同步采集輪廓數據;雙系統數據融合后,通過高斯濾波與ISO 16610標準算法分離粗糙度、波紋度及形狀誤差,最終輸出Ra、Rz、Rq等20+項粗糙度參數及輪廓度、角度、曲率等幾何特征。設備內置環境補償模塊(溫度15-30℃自動修正,振動隔離≤0.01μm),確保測量重復性≤0.005μm,精度符合ISO 4287與GB/T 3505標準。
應用范圍
覆蓋多行業表面質量與輪廓精度檢測需求:精密軸承滾道表面粗糙度驗證(Ra≤0.02μm)、汽車發動機缸孔圓柱度與表面波紋度分析、航空葉片葉型輪廓度控制、半導體晶圓表面納米級粗糙度篩查、醫療器械植入物表面光潔度評估、模具型腔表面紋理復制精度檢測等。其支持測量面積10mm×10mm至150mm×150mm,適配金屬、陶瓷、塑料及復合材料,尤其適合研發階段原型件表面特性分析與批量產線抽檢。
技術參數
激光共焦傳感器分辨率0.001μm,接觸式探針分辨率0.0001μm;垂直測量范圍±2mm,水平掃描長度150mm;粗糙度參數符合ISO/ASME/DIN等8大標準;輪廓測量精度±(0.8+L/300)μm(L為測量長度);7英寸電容觸摸屏支持實時3D形貌重建與截面曲線分析;數據存儲≥10萬組,支持USB/以太網導出至PC軟件二次開發;工作溫度15-30℃,濕度≤65%RH,防護等級IP42。
產品特點
雙模檢測技術一鍵切換,兼顧宏觀輪廓與微觀粗糙度分析;智能軟件內置AI形貌識別功能,自動標注劃痕、毛刺等缺陷位置;全自動Z軸驅動與激光輔助定位系統,實現快速精準對焦;模塊化設計支持探針、激光頭快速更換,適配不同表面特性工件;通過CE、FCC認證,抗電磁干擾能力強,可無縫集成至智能工廠MES系統。MMD-HPG150以“全能、精準、智能”的特性,重新定義表面質量檢測新標準。