設備介紹
自動壓力控制CVD管式爐是鄭州科佳生產的一款CVD化學氣相沉積設備,型號為KJ-1200T,該設備最高工作溫度為1100℃,配備
真空泵,氣體混合裝置??販叵到y采用PID方式調節,高溫精度,出色的氣體流量精度,易于操作,有非常好的隔熱效果和溫度均勻性。主要用于
稀土制備、電子照明、晶體退火、生物陶瓷、電子陶瓷、特種合金、磁性材料、精密鑄造、金屬熱處理等工業真空燒結、保護氣氛燒結、CVD實驗、真空沉積、材料成分測定等場合。
產品優勢
自動壓力調節系統
配置觸摸屏PLC控制器,可根據需求將壓力調節為 50-300torr
多重安全防護功能
有超溫保護和報警,及過熱和熱電偶斷裂保護功能,保證了設備和人員安全。
控溫精度可以達到±1℃
控溫系統采用PID方式調節,可以設置30段升降溫程序,控溫精度可以達到±1℃
技術參數
設備名稱 自動壓力控制CVD管式爐
設備型號 KJ-1200T
最高工作溫度 1200℃
連續工作溫度 ≤1100℃
升溫速率 建議0-10 ℃/min
爐管尺寸 外徑 50mm x 長1200 mm (其他尺寸可按客戶需求定制)
加熱區長度 200mm+200mm+200mm(其他尺寸可按客戶需求定制)
熱電偶 N型
控溫系統 PID30段程序化控溫
控溫精度 +/- 1 ℃
壓力調節系統 質量流量計一臺:可根據泵壓力調節
壓力傳感器:安裝在爐管出口處
觸摸屏控制器
皮拉尼真空計 安裝在爐管進氣側
四通道MFC氣體混合站 顯示:液晶觸摸屏
最大壓力:3×10^6Pa
四個精密質量流量計:
底殼上安裝有1個氣體混合罐,底殼左側安裝有5個不銹鋼針閥,可手動控制4種氣體混合。
真空泵 渦旋真空泵
售后服務 質保一年,終身保修