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    硅片劃痕拋光劑及其制備方法

    1089   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:29:24
    一種硅片劃痕拋光劑，涉及硅材料加工技術領域，由以下重量份的原料制成：乙酸異辛酯3?5份、聚丙烯酰胺4?6份、十二烷基苯磺酸鈉6?8份、硝基苯5?7份、金剛石微粉10?20份、三乙醇胺2?4份、石蠟油12?14份、水楊酸鈉6?8份、抗氧劑5?7份、氧化鎂1?3份、硬脂酸2?4份、云母粉2?4份、空心玻璃微珠2?4份、礦物油5?7份、油酸三乙醇胺2?4份、炭黑3?5份、絡合劑6?8份、去離子水80?100份。本發明的有益效果為：本發明采用的原材料豐富廉價，制作工藝簡便，適用于硅片的劃痕修復，對硅片本身沒有損傷，使用方便，效果顯著，便于推廣及使用。
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