本發明公開了一種薄膜電池銅銦鎵硒合金靶材的制備方法,采用多室真空梯度液相合成技術,制備熔點、密度相當的In2Se3、Ga2Se3等中間化合物解決硒的揮發以及硒與其它元素充分合金化問題,再在同一梯度真空爐中合成制備銅銦鎵硒四元化合物,然后將這些化合物真空制粉、熱壓燒結可制得純度高、密度大、晶粒細、成分均勻布、單一相黃銅礦結構的銅銦鎵硒合金靶材。
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