本發明涉及用于感測元件的氧化鋁擴散阻擋體。本發明還涉及用于溫度感測器的感測元件,包括具有施加于其的鉑彎曲體的基底。氧化鋁擴散阻擋體(ADB)覆蓋彎曲體以提供抵抗污染的保護和結構穩定性,其中氧化鋁擴散阻擋體是連續的多晶層,其由氧化鋁和以重量計約1%的金紅石添加劑制成以基本上避免網狀孔隙。連續的多晶層包括具有典型在0.5?3μm范圍內的晶粒尺寸的晶粒。制造氧化鋁擴散阻擋體的方法包括以下步驟:將納米氧化鋁和納米金紅石粉末組合以產生配制物;將配制物施加于鉑彎曲體以形成層;將該層燒結以產生覆蓋鉑彎曲體的連續的多晶層。
聲明:
“用于感測元件的氧化鋁擴散阻擋體” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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