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    用于RERAM的固體電解質

    452   編輯:管理員   來源:賀利氏德國有限責任兩合公司  
    2024-03-12 16:56:15
    權利要求書: 1.一種組合物,其包含(i)包含金屬氧化物作為基質材料的基質,所述金屬氧化物包含至少兩種金屬M1和M2和(ii)在所述基質中活動的金屬M3其中?M1與M2的原子比在75:25至99.99:0.01的范圍內;?M1、M2和M3的價態都是正數;?M1的價態大于M2的價態;?M2的價態等于或大于M3的價態;且?金屬M1、M2和M3不同,其中M1選自Si和Ge,M2選自Al、Ga、In、Tl、Sc、Y、La、Ac或其混合物;M3選自Ag和Cu,其中基于所述組合物的總重量計,不同于M1、M2和M3的金屬的總濃度低于100ppm。2.根據權利要求1的組合物,其中M3在所述組合物中的擴散系數與M2在所述組合物中的擴散系數的比率為至少1000:1。3.根據權利要求1的組合物,其中M1的價態為+III、+I或+。4.根據權利要求1的組合物,其中M1是Si。5.根據權利要求1的組合物,其中M2選自Al和Ga。6.根據權利要求1的組合物,其中M3是Cu。7.根據權利要求1的組合物,其中?M2的量為所述組合物中存在的金屬總量的0.01至25原子%;和/或?M3的量為所述組合物中存在的金屬總量的0.01至10原子%。8.一種生產根據權利要求1至7之一的組合物的方法,其包含下列步驟a)提供M1的多孔氧化物;b)用M2的液體前體浸潤M1的多孔氧化物;c)用M3的液體前體浸潤M1的多孔氧化物;由此步驟b)和c)可以同時或相繼進行;d)任選地,干燥在用M2的液體前體和M3的液體前體浸潤M1的多孔氧化物后獲得的產物;e)任選地,在氧化氣氛中在低于M1的氧化物的轉變溫度的溫度下煅燒在步驟d),如果存在,或步驟c)中獲得的產物;f)將在步驟d)中獲得的產物加熱到M1的氧化物的轉變溫度以上的溫度。9.一種生產根據權利要求1至7之一的組合物的方法,其中所述組合物通過原子層沉積(ALD)或化學氣相沉積(CD)制備。10.根據權利要求9的方法,其中通過原子層沉積(ALD)或化學氣相沉積(CD)制備的所述組合物的層厚度為1至100nm。11.通過根據權利要求8的方法獲得的產物作為用于物理氣相沉積(PD)法的濺射靶的用途。12.根據前述權利要求1至7任一項的組合物或在權利要求8至10任一項的方法中獲得的組合物作為阻變元件的用途。 說明書:
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