權利要求書： 1.一種轉盤式芯片分選機X、Y模組機構，其特征在于，包括X軸模組機構和Y軸模組機構，所述X軸模組機構包括第一電機、設置在所述第一電機輸出端的X軸絲桿以及與所述X軸絲桿螺紋配合的晶圓墊板，所述第一電機固定設置在固晶臺支座一側，
所述Y軸模組機構包括第二電機、設置在所述第二電機輸出端的Y軸絲桿以及與所述Y軸絲桿螺紋配合的Y軸螺母座，所述Y軸螺母座與所述固晶臺支座固定連接。
2.根據權利要求1所述的一種轉盤式芯片分選機X、Y模組機構，其特征在于，所述X軸絲桿遠離所述第一電機的一端轉動設置有第一支撐座，所述Y軸絲桿遠離所述第二電機的一端轉動設置有第二支撐座。
3.根據權利要求1所述的一種轉盤式芯片分選機X、Y模組機構，其特征在于，所述第二電機固定設置在Y軸絲桿馬達座一側，所述Y軸絲桿馬達座一側設置有導軌，所述固晶臺支座與所述導軌之間通過滑塊滑動配合。
4.根據權利要求1所述的一種轉盤式芯片分選機X、Y模組機構，其特征在于，所述第一電機一側固定設置有馬達座，所述馬達座一側設置有導軌座，所述第一電機所述X軸絲桿之間通過聯軸器以及緩沖塊相連，所述Y軸絲桿馬達座一側設置有拖鏈，
所述導軌座一側還設置有Wafer模塊。
5.根據權利要求1所述的一種轉盤式芯片分選機X、Y模組機構，其特征在于，所述Y軸絲桿長度為530cm，所述X軸絲桿長度為330cm。
6.根據權利要求1所述的一種轉盤式芯片分選機X、Y模組機構，其特征在于，所述第一電機以及所述第二電機均為伺服電機。
說明書： 一種轉盤式芯片分選機X、Y模組機構技術領域[0001] 本實用新型屬于芯片分選機技術領域，具體是一種轉盤式芯片分選機X、Y模組機構。背景技術[0002] 在分選工作過程中，為了能更好的取、放芯片，配合芯片分選機CCD機構檢測芯片，需要承載芯片的X、Y模組機構作不同方向的移動，從而快速完成分選。[0003] 現有的X、Y模組機構在移動時精度較差，無法保證取放晶圓芯片、三點對位、吸嘴清潔、擺臂取放芯片等動作的精確性，亟需改進。實用新型內容
[0004] 針對上述現有技術的不足，本實用新型實施例要解決的技術問題是提供一種轉盤式芯片分選機X、Y模組機構。[0005] 為解決上述技術問題，本實用新型提供了如
聲明：
“轉盤式芯片分選機X、Y模組機構” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：深圳市朝陽光科技有限公司
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2025年07月09日 ~ 11日 
