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    電子束熔煉多晶硅除氧與連續鑄錠的方法及設備

    1055   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-18 14:32:43
    本發明屬于冶金熔煉領域,特別涉及一種電子束熔煉多晶硅除氧與連續鑄錠的方法及設備,該方法首先將爐體和電子槍抽真空,啟動熔煉用電子槍對多晶硅料進行電子束熔煉,熔煉初步去除雜質氧;在輻射用電子槍作用下保持液態進一步除氧,最后通過水冷傳輸帶引導進入鑄錠裝置中,進行定向長晶鑄錠工藝,得到多晶硅鑄錠,至所有鑄錠裝置中定向長晶鑄錠工藝完成,該設備包括電子束熔煉組件和連續鑄錠組件,包括水冷的熔煉坩堝和該熔煉坩堝一側設有的水冷傳輸帶,鑄錠裝置為3-6臺,固定安裝于旋轉平臺上,本發明首次提出了電子束熔煉除氧的工藝方法和用途,實現了電子束除氧的效果,同時結合連續鑄錠,降低了鑄錠加熱原料所需的能耗,大大提高了生產效率。
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