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    鎳鉑合金濺射靶材及其制備方法

    1008   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-18 14:32:47
    本發明公開了一種鎳鉑合金濺射靶材及其制備方法,其技術方案是:包括鉑粉和鎳粉,所述鉑粉和鎳粉質量份數為:鉑粉05?65份,鎳粉35?95份。包括以下步驟:S1:將鉑粉和鎳粉混合均勻,并過濾大顆粒雜質,保留大小均等的粉末狀顆粒;S2:將S1中過濾后保留下來的粉末顆粒倒入酒精內浸泡清洗,一種鎳鉑合金濺射靶材及其制備方法有益效果是:通過使用粉末冶金的方式,區別于傳統的熔煉方法,粉末冶金得到的鎳鉑合金靶材具有更好的致密度,在實際使用測試中,其與基材擁有更好的附著性能,使用更加方便可靠,同時粉末冶金相對于傳統熔煉方法,使得其制備成本大大降低,制備步驟得到極大優化,提高了制備效率,簡化了制備流程,從而提高其經濟效益。
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