本發明公開了一種氫氣傳感器用薄膜材料,包括基片、合金薄膜材料和保護薄膜;基片和保護薄膜夾覆著合金薄膜材料。也公開了一種氫氣傳感器用薄膜材料的制備方法。本氫氣傳感器用薄膜材料,其中的合金薄膜材料由亞微米或納米晶組成,可重復使用、響應速度快、靈敏度高、測量范圍廣、也不需要經常校核,本薄膜材料可制備成一種輕便型固態氫氣傳感器,能耗低,實用范圍廣,不受檢測環境約束,測量的氫氣濃度范圍廣,由于合金薄膜材料粒度小(大約為100NM左右),對氫氣敏感性高,因而靈敏度好。
聲明:
“氫氣傳感器用薄膜材料及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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