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    硅烷氣體的制備方法

    1108   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:34:16
    一種硅烷氣體的制備方法,它涉及一種電子氣體的制備方法。本發明解決了現有制備硅烷氣體的工藝中催化速率難控制、催化劑加料困難、回收難度大,以及在三烷氧基硅烷的制備過程中硅銅觸體生產率低、反應活性低,催化劑遇水易失效、產物易水解,及醇利用率低的問題。本發明的制備方法是:一、利用硅粉和醇制備三烷氧基硅烷;二、制備催化緩釋劑;三、采用步驟一的三烷氧基硅烷,在催化緩釋劑的作用下反應制備得到硅烷氣體。本發明制備三烷氧基硅烷的選擇性達到95%,轉化率為90%;本發明中三烷氧基硅烷的分解率為99.8%,硅烷產率為90～93%,純度為99%,硅烷可用于制造非晶硅薄膜太陽能電池及LED、LCD行業。
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